(1) روش سیلیسید منیزیم: پودر مخلوط سیلیکون و منیزیم را در هیدروژن در حدود 500 درجه سانتیگراد واکنش دهید و سیلیسید منیزیم تولید شده را با کلرید آمونیوم در آمونیاک مایع با دمای پایین واکنش دهید تا سیلان به دست آید. خالص سازی آن در دستگاه تقطیر خنک شده با نیتروژن مایع، سیلان خالص به دست می دهد.
(2) روش واکنش ناهمگن: پودر سیلیکون، تتراکلرید سیلیکون و هیدروژن را در یک کوره بستر سیال که در دمای بالای 500 درجه سانتیگراد گرم شده است، واکنش دهید تا تری کلروسیلان به دست آید. تری کلروسیلان با تقطیر جدا می شود. دی کلروسیلان با واکنش ناهمگن در حضور یک کاتالیزور به دست می آید. دی کلروسیلان به دست آمده مخلوطی با تتراکلرید سیلیکون و تری کلروسیلان است، بنابراین می توان دی کلروسیلان خالص را پس از تقطیر به دست آورد. تری کلروسیلان و مونوسیلان از دی کلروسیلان با استفاده از یک کاتالیزور واکنش ناهمگن به دست می آیند. مونوسیلان بدست آمده توسط دستگاه تقطیر با فشار بالا در دمای پایین خالص سازی می شود.
(3) آلیاژ سیلیکون-منیزیم را با اسید هیدروکلریک درمان کنید.
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) آلیاژ سیلیکون منیزیم با آمونیوم برومید در آمونیاک مایع واکنش می دهد.
(5) با استفاده از لیتیوم آلومینیوم هیدرید، لیتیوم بوروهیدرید و غیره به عنوان عوامل کاهنده، تتراکلوروسیلان یا تری کلروسیلان را در اتر کاهش دهید.