Panelen industria

Pantaila lauko pantailaren teknologiaren garapenarekin, bezeroek gas berezi gehiago eta erlazionatutako ezagutza eta esperientzia profesionala behar dituzte. Huazhong Gas-ek pantaila lauko pantailako bezeroei gas-material berezi ugari eskaintzen dizkie, besteak beste, dopina, film-deposizioa, akuafortea eta ganbara garbitzeko prozesuak Aplikazioak.

Zure industriarako gomendatutako produktuak

Silanoa

Maila elektronikoko silano gasa, batez ere, TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Liquid Crystal Display) ekoizteko erabiltzen da pantaila-panelen industrian, eta TFT edo LTPS substratuen deposizioan LCDetarako.

Amoniakoa

Silanoarekin konbinatuta, a-Si transistoreen silizio nitruro geruza osatzen du.

Gas-nahasketa

LTPS eta MOS transistoreen ekoizpenak oxido nitrosoaren erabilera areagotu du. MO ekoizpenean kontsumoaren eta erabileraren ikuspegitik, N2Ok NF3 gainditu du MO ekoizpenean gehien erabiltzen den material elektronikoa izatera.

nitrogeno trifluoruroa

NF3 a-Si eta LTPS pantailen ekoizpenean gehien erabiltzen den material elektronikoa da eta batez ere PECVD ganberak garbitzeko erabiltzen da.