Paneelitööstus

Lameekraanide tehnoloogia arenedes vajavad kliendid rohkem erigaase ning nendega seotud erialaseid teadmisi ja kogemusi. Huazhong Gas pakub lameekraani klientidele laia valikut spetsiaalseid gaasimaterjale, sealhulgas dopingut, kilede sadestumist, söövitamist ja kambri puhastusprotsesse.

Soovitatavad tooted teie tööstusele

Silane

Elektroonilise kvaliteediga silaangaasi kasutatakse peamiselt TFT (õhukese kile transistor)/LCD (vedelkristallkuvari) tootmisel kuvaripaneelide tööstuses ning TFT- või LTPS-substraatide ladestamisel LCD-ekraanide jaoks.

Ammoniaak

Koos silaaniga moodustab see a-Si transistoride räni nitriidi kihi.

Gaasisegu

LTPS- ja MOS-transistoride tootmine on suurendanud dilämmastikoksiidi kasutamist. Tarbimise ja kasutamise seisukohast MO tootmises on N2O ületanud NF3 ja saanud MO tootmises enim kasutatavaks elektroonikamaterjaliks.

lämmastiktrifluoriid

NF3 on kõige sagedamini kasutatav elektrooniline materjal a-Si ja LTPS-ekraanide tootmisel ning seda kasutatakse peamiselt PECVD kambrite puhastamiseks.