Kuidas silaane toodetakse?
(1) Magneesiumsilikiidi meetod: räni ja magneesiumi segatud pulber vesinikus umbes 500 °C juures reageerida ja tekkinud magneesiumsilitsiidil reageerida ammooniumkloriidiga madalatemperatuurilises vedelas ammoniaagis, et saada silaan. Selle puhastamisel vedela lämmastikuga jahutatud destilleerimisseadmes saadakse puhas silaan.
(2) Heterogeenne reaktsioonimeetod: triklorosilaani saamiseks laske ränipulbril, ränitetrakloriidil ja vesinikul reageerida keevkihtahjus, mida kuumutatakse üle 500 °C. Triklorosilaan eraldatakse destilleerimisega. Diklorosilaan saadakse heterogeense reaktsiooni teel katalüsaatori juuresolekul. Saadud diklorosilaan on segu ränitetrakloriidi ja triklorosilaaniga, seega saab pärast destilleerimist puhast diklorosilaani. Triklorosilaan ja monosilaan saadakse diklorosilaanist, kasutades heterogeenset reaktsioonikatalüsaatorit. Saadud monosilaan puhastatakse madala temperatuuriga kõrgsurve destilleerimisseadmega.
(3) Töödelge räni-magneesiumi sulamit vesinikkloriidhappega.
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) Räni-magneesiumisulam reageerib vedelas ammoniaagis ammooniumbromiidiga.
(5) Kasutades liitiumalumiiniumhüdriidi, liitiumboorhüdriidi jne redutseerivate ainetena, redutseerige tetraklorosilaani või triklorosilaani eetris.
2. Mis on silaani lähteaine?
Valmistamiseks vajalikud toorainedsilaanon peamiselt ränipulber ja vesinik. Ränipulbri puhtusnõuded on suhteliselt kõrged, ulatudes üldiselt üle 99,999%. Samuti rafineeritakse vesinikku, et tagada valmistatud silaani kõrge puhtus.
3. Mis on silaani funktsioon?
Ränikomponente pakkuva gaasiallikana saab silaani kasutada kõrge puhtusastmega polükristallilise räni, monokristallilise räni, mikrokristallilise räni, amorfse räni, räni nitriidi, ränioksiidi, heterogeense räni ja mitmesuguste metallsilitsiidide valmistamiseks. Kõrge puhtuse ja peenkontrolli tõttu on sellest saanud oluline erigaas, mida ei saa asendada paljude teiste räniallikatega. Silaani kasutatakse laialdaselt mikroelektroonika- ja optoelektroonikatööstuses ning seda kasutatakse päikesepatareide, lameekraanide, klaas- ja teraskatete valmistamisel ning see on ainus vahetoode maailmas granuleeritud kõrge puhtusastmega räni suuremahuliseks tootmiseks. Silaani kõrgtehnoloogilised rakendused on ikka veel esile kerkimas, sealhulgas kasutamine täiustatud keraamika, komposiitmaterjalide, funktsionaalsete materjalide, biomaterjalide, suure energiatarbega materjalide jne tootmisel, ning sellest on saanud paljude uute tehnoloogiate, uute materjalide ja uued seadmed.
4. Kas silaanid on keskkonnasõbralikud?
Jah, silaanitöötlusaine ei sisalda raskmetalliioone ega muid saasteaineid ning see vastab ROHS-i ja SGS-i keskkonnakaitsestandarditele.
5. Silaani pealekandmine
Klorosilaanide ja alküülklorosilaanide skeleti struktuur, räni epitaksiaalne kasv, polüräni toorained, ränioksiid, ränitriid jne, päikesepatareid, optilised kiud, värvilise klaasi tootmine, keemiline aurustamine-sadestamine.
Ammoniaagi kasutamine pooljuhtide tööstuses
