El gas de fluoruro de tungsteno se somete a tecnología de purificación, incluida la tecnología de separación por rectificación, para eliminar sustancias de bajo punto de ebullición, luego eliminar sustancias de alto punto de ebullición y luego ingresar a la torre de adsorción equipada con adsorbentes y obtener gas de hexafluoruro de tungsteno de alta pureza después de la adsorción.