La fórmula química del trifluoruro de nitrógeno es NF₃. Es un gas incoloro, inodoro y estable a temperatura ambiente. Es un fuerte agente oxidante. El trifluoruro de nitrógeno de alta pureza tiene una excelente velocidad de grabado y selectividad y también es un muy buen agente de limpieza. Huazhong puede proporcionarle gas trifluoruro de nitrógeno de alta pureza para mejorar su proceso de semiconductores.