Βιομηχανία πάνελ

Με την ανάπτυξη της τεχνολογίας επίπεδων οθονών, οι πελάτες χρειάζονται περισσότερα ειδικά αέρια και σχετική επαγγελματική γνώση και εμπειρία. Η Huazhong Gas παρέχει στους πελάτες επίπεδων οθονών μια μεγάλη ποικιλία ειδικών υλικών αερίου, συμπεριλαμβανομένων των διαδικασιών ντόπινγκ, εναπόθεσης φιλμ, χάραξης και καθαρισμού θαλάμου Εφαρμογές.

Προτεινόμενα προϊόντα για τον κλάδο σας

Σιλάνιο

Το αέριο σιλάνιο ηλεκτρονικής ποιότητας χρησιμοποιείται κυρίως στην παραγωγή TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Liquid Crystal Display) στη βιομηχανία πάνελ οθόνης και στην εναπόθεση υποστρωμάτων TFT ή LTPS για LCD.

Αμμωνία

Σε συνδυασμό με το σιλάνιο, σχηματίζει το στρώμα νιτριδίου του πυριτίου των τρανζίστορ a-Si.

Αέριο μίγμα

Η παραγωγή τρανζίστορ LTPS και MOS έχει αυξήσει τη χρήση οξειδίου του αζώτου. Από την άποψη της κατανάλωσης και χρήσης στην παραγωγή MO, το N2O έχει ξεπεράσει το NF3 για να γίνει το πιο χρησιμοποιούμενο ηλεκτρονικό υλικό στην παραγωγή MO.

τριφθοριούχο άζωτο

Το NF3 είναι το πιο συχνά χρησιμοποιούμενο ηλεκτρονικό υλικό στην παραγωγή οθονών a-Si και LTPS και χρησιμοποιείται κυρίως για τον καθαρισμό θαλάμων PECVD.