Wofür wird Wolframhexafluorid verwendet?
Wofür wird Wolframhexafluorid verwendet?
Wolframhexafluoridist ein farbloses, giftiges und ätzendes Gas mit einer Dichte von etwa 13 g/L, was etwa der 11-fachen Dichte von Luft entspricht und eines der dichtesten Gase ist. In der Halbleiterindustrie wird Wolframhexafluorid hauptsächlich im chemischen Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) zur Abscheidung von Wolframmetall verwendet. Der abgeschiedene Wolframfilm kann als Verbindungslinie von Durchgangslöchern und Kontaktlöchern verwendet werden und weist die Eigenschaften eines niedrigen Widerstands und eines hohen Schmelzpunkts auf. Wolframhexafluorid wird auch beim chemischen Ätzen, Plasmaätzen und anderen Prozessen verwendet.
Was ist das dichteste ungiftige Gas?
Das dichteste ungiftige Gas ist Argon (Ar) mit einer Dichte von 1,7845 g/L. Argon ist ein inertes Gas, farb- und geruchlos und reagiert nicht leicht mit anderen Substanzen. Argongas wird hauptsächlich in den Bereichen Gasschutz, Metallschweißen, Metallschneiden, Laser und anderen Bereichen eingesetzt.
Ist Wolfram stärker als Titan?
Wolfram und Titan sind beide metallische Elemente mit hohem Schmelzpunkt und hoher Festigkeit. Der Schmelzpunkt von Wolfram beträgt 3422 °C und die Festigkeit 500 MPa, während der Schmelzpunkt von Titan 1668 °C und die Festigkeit 434 MPa beträgt. Daher ist Wolfram stärker als Titan.
Wie giftig ist Wolframhexafluorid?
Wolframhexafluoridist ein hochgiftiges Gas, das beim Einatmen schwere Schäden im menschlichen Körper verursachen kann. Die LD50 von Wolframhexafluorid beträgt 5,6 mg/kg, d. h. die Inhalation von 5,6 mg Wolframhexafluorid pro Kilogramm Körpergewicht führt zu einer Sterblichkeitsrate von 50 %. Wolframhexafluorid kann die Atemwege reizen und Symptome wie Husten, Engegefühl in der Brust und Atemnot verursachen. In schweren Fällen kann es zu Lungenödemen, Atemversagen und sogar zum Tod kommen.
Wird Wolfram rosten?
Wolfram rostet nicht. Wolfram ist ein inertes Metall, das nicht leicht mit Luftsauerstoff reagiert. Daher rostet Wolfram bei normaler Temperatur nicht.
Kann Säure Wolfram angreifen?
Säuren können Wolfram korrodieren, allerdings langsamer. Starke Säuren wie konzentrierte Schwefelsäure und konzentrierte Salzsäure können Wolfram angreifen, allerdings dauert es lange. Schwache Säuren wie verdünnte Schwefelsäure und verdünnte Salzsäure haben eine schwache Korrosionswirkung auf Wolfram.
Ammoniakanwendung in der Halbleiterindustrie
