Wolframfluoridgas wird einer Reinigungstechnologie unterzogen, einschließlich der Rektifikationstrennungstechnologie, um niedrigsiedende Substanzen zu entfernen, dann hochsiedende Substanzen zu entfernen und dann in den mit Adsorptionsmitteln ausgestatteten Adsorptionsturm einzutreten und nach der Adsorption hochreines Wolframhexafluoridgas zu erhalten.