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Phosphoan-Mischgas

mischen

Reinheit oder Menge Träger Volumen
99,999 %/99,9999 % Zylinder 47L

Phosphoan-Mischgas

Phosphin ist eine wichtige Dotierungsquelle vom n-Typ bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es wird auch bei der chemischen Gasphasenabscheidung von Polysilizium, epitaktischen GaP-Materialien, Ionenimplantationsprozessen, MOCVD-Prozessen und der Herstellung von Passivierungsfilmen aus Phosphosilikatglas (PSG) verwendet.

Anwendungen

Halbleiter
Solar-Photovoltaik
LED
Maschinenbau
Chemische Industrie
Medizinische Behandlung
Essen
Wissenschaftliche Forschung

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