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Flüssiges Argon

Argon ist eines der häufigsten Trägergase in der Gaschromatographie. Argon wird als Trägergas beim Sputtern, Plasmaätzen und bei der Ionenimplantation sowie als Schutzgas beim Kristallwachstum verwendet.

Reinheit oder Menge Träger Volumen
99,999 % Tanker 22,6m³

Flüssiges Argon

Die häufigste Argonquelle ist eine Luftzerlegungsanlage. Luft enthält ca. 0,93 % (Volumen) Argon. Ein Rohargonstrom, der bis zu 5 % Sauerstoff enthält, wird aus der primären Luftzerlegungssäule durch eine sekundäre („Seitenarm“)-Säule entfernt. Das Rohargon wird dann weiter gereinigt, um die verschiedenen erforderlichen kommerziellen Qualitäten herzustellen. Argon kann auch aus dem Abgasstrom einiger Ammoniakanlagen gewonnen werden.

Anwendungen

Halbleiter
Solar-Photovoltaik
LED
Maschinenbau
Chemische Industrie
Medizinische Behandlung
Essen
Wissenschaftliche Forschung

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