Plattenindustrie

Mit der Entwicklung der Flachbildschirmtechnologie benötigen Kunden mehr Spezialgase und entsprechende Fachkenntnisse und Erfahrungen. Huazhong Gas beliefert Kunden von Flachbildschirmen mit einer Vielzahl spezieller Gasmaterialien, einschließlich Anwendungen für Dotierung, Filmabscheidung, Ätzung und Kammerreinigung.

Empfohlene Produkte für Ihre Branche

Silan

Silangas in elektronischer Qualität wird hauptsächlich bei der Herstellung von TFT (Dünnschichttransistoren)/LCD (Flüssigkristallanzeigen) in der Display-Panel-Industrie und bei der Abscheidung von TFT- oder LTPS-Substraten für LCDs verwendet.

Ammoniak

In Kombination mit Silan bildet es die Siliziumnitridschicht von a-Si-Transistoren.

Gasgemisch

Die Produktion von LTPS- und MOS-Transistoren hat den Einsatz von Lachgas erhöht. Aus der Perspektive des Verbrauchs und der Verwendung in der MO-Produktion hat N2O NF3 überholt und ist zum am häufigsten verwendeten elektronischen Material in der MO-Produktion geworden.

Stickstofftrifluorid

NF3 ist das am häufigsten verwendete elektronische Material bei der Herstellung von a-Si- und LTPS-Displays und wird hauptsächlich zur Reinigung von PECVD-Kammern verwendet.