Plattenindustrie

Mit der Entwicklung der Flachbildschirmtechnologie benötigen Kunden mehr Spezialgase und entsprechende Fachkenntnisse und Erfahrungen. Huazhong Gas beliefert Kunden von Flachbildschirmen mit einer breiten Palette spezieller Gasmaterialien, darunter Dotierungs-, Filmabscheidungs-, Ätz- und Kammerreinigungsverfahren.

Empfohlene Produkte für Ihre Branche

Silan

Silangas in elektronischer Qualität wird hauptsächlich bei der Herstellung von TFT (Dünnschichttransistoren)/LCD (Flüssigkristallanzeigen) in der Display-Panel-Industrie und bei der Abscheidung von TFT- oder LTPS-Substraten für LCDs verwendet.

Ammoniak

In Kombination mit Silan bildet es die Siliziumnitridschicht von a-Si-Transistoren.

Gasgemisch

Die Produktion von LTPS- und MOS-Transistoren hat den Einsatz von Lachgas erhöht. Aus der Perspektive des Verbrauchs und der Verwendung in der MO-Produktion hat N2O NF3 überholt und ist zum am häufigsten verwendeten elektronischen Material in der MO-Produktion geworden.

Stickstofftrifluorid

NF3 ist das am häufigsten verwendete elektronische Material bei der Herstellung von a-Si- und LTPS-Displays und wird hauptsächlich zur Reinigung von PECVD-Kammern verwendet.