Panel industri

Med udviklingen af ​​fladskærmsteknologi har kunderne brug for mere specielle gasser og relateret faglig viden og erfaring. Huazhong Gas forsyner kunder med fladskærme med en bred vifte af specielle gasmaterialer, herunder doping, filmaflejring, ætsning og kammerrensningsprocesser.

Anbefalede produkter til din branche

Silane

Silangas af elektronisk kvalitet bruges hovedsageligt til produktion af TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Liquid Crystal Display) i skærmpanelindustrien og afsætning af TFT- eller LTPS-substrater til LCD'er.

Ammoniak

Kombineret med silan danner det siliciumnitridlaget af a-Si transistorer.

Gasblanding

Produktionen af ​​LTPS- og MOS-transistorer har øget brugen af ​​dinitrogenoxid. Set ud fra forbrug og brug i MO-produktion har N2O overgået NF3 for at blive det mest brugte elektroniske materiale i MO-produktion.

nitrogentrifluorid

NF3 er det mest almindeligt anvendte elektroniske materiale i a-Si- og LTPS-skærmproduktion og bruges hovedsageligt til rengøring af PECVD-kamre.