Hvordan fremstilles silaner?
(1) Magnesiumsilicidmetode: omsæt det blandede pulver af silicium og magnesium i hydrogen ved ca. 500°C, og omsæt det dannede magnesiumsilicid med ammoniumchlorid i flydende ammoniak ved lav temperatur for at opnå silan. Rensning af det i et destillationsapparat afkølet med flydende nitrogen giver ren silan.
(2) Heterogen reaktionsmetode: omsæt siliciumpulver, siliciumtetrachlorid og hydrogen i en fluid bed-ovn opvarmet til over 500°C for at opnå trichlorsilan. Trichlorsilan fraskilles ved destillation. Dichlorsilan opnås ved heterogen reaktion i nærvær af en katalysator. Den opnåede dichlorsilan er en blanding med siliciumtetrachlorid og trichlorsilan, så ren dichlorsilan kan opnås efter destillation. Trichlorsilan og monosilan opnås fra dichlorsilan under anvendelse af en heterogen reaktionskatalysator. Den opnåede monosilan renses med en lavtemperatur højtryksdestillationsanordning.
(3) Behandl silicium-magnesium-legeringen med saltsyre.
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) Silicium-magnesium-legering reagerer med ammoniumbromid i flydende ammoniak.
(5) Brug af lithiumaluminiumhydrid, lithiumborhydrid osv. som reduktionsmidler, reducere tetrachlorsilan eller trichlorsilan i ether.
2. Hvad er udgangsmaterialet til silan?
Råvarerne til fremstilling afsilaner hovedsageligt siliciumpulver og brint. Renhedskravene til siliciumpulver er relativt høje og når generelt mere end 99,999%. Hydrogen er også raffineret for at sikre den høje renhed af den forberedte silan.
3. Hvad er funktionen af silan?
Som en gaskilde, der leverer siliciumkomponenter, kan silan bruges til at fremstille polykrystallinsk silicium af høj renhed, enkeltkrystalsilicium, mikrokrystallinsk silicium, amorft silicium, siliciumnitrid, siliciumoxid, heterogent silicium og forskellige metalsilicider. På grund af dens høje renhed og fine kontrol er den blevet en vigtig specialgas, som ikke kan erstattes af mange andre siliciumkilder. Silan er meget udbredt i mikroelektronik- og optoelektronikindustrien og bruges til fremstilling af solceller, fladskærme, glas- og stålbelægninger og er det eneste mellemprodukt i verden til storskalaproduktion af granulært højrent silicium. De højteknologiske anvendelser af silan dukker stadig op, herunder brugen til fremstilling af avanceret keramik, kompositmaterialer, funktionelle materialer, biomaterialer, højenergimaterialer osv., og bliver grundlaget for mange nye teknologier, nye materialer og nye enheder.
4. Er silaner miljøvenlige?
Ja, silanbehandlingsmidlet indeholder ikke tungmetalioner og andre forurenende stoffer, og det overholder ROHS og SGS miljøbeskyttelsesstandarder.
5. Påføring af silan
Skeletstruktur af chlorsilaner og alkylchlorsilaner, epitaksial vækst af silicium, råmaterialer af polysilicium, siliciumoxid, siliciumnitrid osv., solceller, optiske fibre, farvet glasfremstilling, kemisk dampaflejring.
Ammoniakapplikation i halvlederindustrien
