K čemu se používá hexafluorid wolframu?

2023-09-04

K čemu se používá hexafluorid wolframu?

Hexafluorid wolframuje bezbarvý, toxický a žíravý plyn s hustotou asi 13 g/l, což je asi 11násobek hustoty vzduchu a jeden z nejhustších plynů. V polovodičovém průmyslu se hexafluorid wolframu používá hlavně v procesu chemického napařování (CVD) k nanášení kovového wolframu. Nanesený wolframový film lze použít jako propojovací linii průchozích otvorů a kontaktních otvorů a má vlastnosti nízkého odporu a vysokého bodu tání. Hexafluorid wolframu se také používá při chemickém leptání, plazmovém leptání a dalších procesech.

Jaký je nejhustší netoxický plyn?

Nejhustší netoxický plyn je argon (Ar) o hustotě 1,7845 g/l. Argon je inertní plyn, bez barvy a zápachu a jen těžko reaguje s jinými látkami. Argonový plyn se používá hlavně při ochraně plynu, svařování kovů, řezání kovů, laseru a dalších oborech.

Je wolfram pevnější než titan?

Wolfram a titan jsou kovové prvky s vysokým bodem tání a pevností. Teplota tání wolframu je 3422 °C a pevnost 500 MPa, zatímco teplota tání titanu je 1668 °C a pevnost 434 MPa. Proto je wolfram pevnější než titan.

Jak toxický je hexafluorid wolframu?

Hexafluorid wolframuje vysoce toxický plyn, který při vdechnutí může způsobit vážné poškození lidského těla. LD50 hexafluoridu wolframu je 5,6 mg/kg, to znamená, že inhalace 5,6 mg hexafluoridu wolframu na kilogram tělesné hmotnosti bude mít za následek 50% úmrtnost. Hexafluorid wolframu může dráždit dýchací cesty a způsobit příznaky, jako je kašel, tlak na hrudi a dušnost. Těžké případy mohou vést k plicnímu edému, respiračnímu selhání a dokonce smrti.

Bude wolfram rezavět?

Wolfram nerezaví. Wolfram je inertní kov, který nereaguje snadno s kyslíkem ve vzduchu. Proto wolfram při normální teplotě nezreziví.

Může kyselina korodovat wolfram?

Kyseliny mohou korodovat wolfram, ale pomaleji. Silné kyseliny, jako je koncentrovaná kyselina sírová a koncentrovaná kyselina chlorovodíková, mohou wolfram korodovat, ale trvá to dlouho. Slabé kyseliny, jako je zředěná kyselina sírová a zředěná kyselina chlorovodíková, mají na wolfram slabý korozní účinek.