Panelový průmysl

S rozvojem technologie plochých displejů zákazníci potřebují více speciálních plynů a související odborné znalosti a zkušenosti. Huazhong Gas poskytuje zákazníkům plochých displejů širokou škálu speciálních plynových materiálů, včetně dopingu, nanášení filmu, leptání a procesů čištění komor.

Doporučené produkty pro váš obor

silan

Elektronický silanový plyn se používá hlavně při výrobě TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Liquid Crystal Display) v průmyslu zobrazovacích panelů a při nanášení substrátů TFT nebo LTPS pro LCD.

Amoniak

V kombinaci se silanem tvoří vrstvu nitridu křemíku a-Si tranzistorů.

Směs plynů

Výroba tranzistorů LTPS a MOS zvýšila použití oxidu dusného. Z pohledu spotřeby a použití při výrobě MO N2O překonal NF3 a stal se nejpoužívanějším elektronickým materiálem při výrobě MO.

fluorid dusitý

NF3 je nejběžněji používaný elektronický materiál při výrobě a-Si a LTPS displejů a používá se hlavně pro čištění PECVD komor.