(1) Metoda silicidu hořečnatého: zreagujte smíšený prášek křemíku a hořčíku ve vodíku při teplotě asi 500 °C a vzniklý silicid hořečnatý nechejte reagovat s chloridem amonným v nízkoteplotním kapalném čpavku za získání silanu. Čištěním v destilační aparatuře chlazené kapalným dusíkem se získá čistý silan.
(2) Heterogenní reakční metoda: reakce křemíkového prášku, chloridu křemičitého a vodíku v peci s fluidním ložem zahřáté nad 500 °C za získání trichlorsilanu. Trichlorsilan se oddělí destilací. Dichlorsilan se získává heterogenní reakcí v přítomnosti katalyzátoru. Získaný dichlorsilan je směsí chloridu křemičitého a trichlorsilanu, takže po destilaci lze získat čistý dichlorsilan. Trichlorsilan a monosilan se získávají z dichlorsilanu za použití heterogenního reakčního katalyzátoru. Získaný monosilan se čistí nízkoteplotním vysokotlakým destilačním zařízením.
(3) Slitinu křemíku a hořčíku ošetřete kyselinou chlorovodíkovou.
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) Slitina křemíku a hořčíku reaguje s bromidem amonným v kapalném amoniaku.
(5) Za použití lithiumaluminiumhydridu, lithiumborohydridu atd. jako redukčních činidel redukujte tetrachlorsilan nebo trichlorsilan v etheru.