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NF3 Purità 99,999% Trifluoruro di azotu Industria Elettronica NF3
U trifluoridu di nitrogenu hè preparatu da a fluorinazione diretta di l'ammonia. Pò esse ancu ottenutu per l'elettrolisi di bifluorure d'ammonium fusu o da a cumminazione diretta di nitrogenu elementale è fluoru cù una scarica elettrica à bassa temperatura.
U trifluoruro di azotu hè un eccellente gas di incisione di plasma in l'industria di a microelettronica, soprattuttu adattatu per l'incisione di siliciu è nitruru di siliciu, cù tassi più elevati è selettività. U trifluoridu di nitrogenu pò esse usatu cum'è carburante d'alta energia o cum'è agenti oxidante per carburanti d'alta energia. U trifluoridu di azotu pò ancu esse usatu in lasers chimichi d'alta energia cum'è agenti oxidizanti per laser di fluoru di l'idrogenu. In i prucessi di film sottili per a fabricazione di semiconductor è TFT-LCD, u trifluoruro di nitrogenu agisce cum'è "agente di pulizia", ma questu agente di pulizia hè un gasu, micca un liquidu. U trifluoridu di nitrogenu pò esse usatu per preparà tetrafluorohydrazine è fluorurate fluorocarbon olefin.
NF3 Purità 99,999% Trifluoruro di azotu Industria Elettronica NF3
Parametru
Pruprietà
Valore
Apparenza è pruprietà
Gas incolore cù odore di muffa
Puntu di fusione (℃)
-208,5
valore PH
Senza sensu
Densità relativa (acqua = 1)
1,89
Température critique (℃)
-39,3
Densità di vapore relative (aria = 1)
2.46
Pressione critica (MPa)
4.53
pressione di vapore saturatu (kPa)
Nisuna dati dispunibuli
Puntu di ebollizione (℃)
-129
Coefficient di ripartizione octanol/acqua
Nisuna dati dispunibuli
Point d'éclair (°C)
Senza sensu
Température d'ignition (°C)
Senza sensu
Limite di esplosione superiore % (V/V)
Senza sensu
Limite di esplosivi inferiore % (V/V)
Senza sensu
Solubilità
Insoluble in acqua
Istruzzioni di sicurità
Panoramica d'emergenza: gas incolore cù odore di muffa; Tossicu, pò causà o aggravate a combustione; Agente ossidante; Gas sottu pressione, si riscalda pò splode; L'esposizione à longu andà o ripetuta pò causà danni à l'organi; Dannusu per inalazione. Categorie di risicu GHS: Gas ossidante -1, gas pressurized -gas compressed, toxicità specifica di u sistema di l'urgani di destinazione per u cuntattu ripetutu -2, tossicità acuta - inalazione -4. Parola d'avvertimentu: Periculu Dichjarazione di periculu: pò causà o aggravate a combustione; Agente ossidante; Gas sottu pressione, si riscalda pò splode; L'esposizione à longu andà o ripetuta pò causà danni à l'organi; Dannusu per inalazione. Precauzioni: · Misure preventive: -- L'operatori devenu esse sottumessi à una furmazione speciale è rispettanu rigorosamente e prucedure operative. - Strettamente sigillatu per furnisce un scarpamentu locale sufficiente è una ventilazione cumpleta. -- Si ricumandemu chì l'operatori purtassi un equipamentu di prutezzione persunale. - Impedisce a fuga di gas in l'aria di u travagliu. -- Mantene luntanu da u focu è u calore. -- U fumu hè strettamente pruibitu in u locu di travagliu. -- Tenir à l'écart de matériaux inflammables et combustibles. - Evite u cuntattu cù agenti riducenti. -- Carica è scarica ligera durante a manipulazione per prevene danni à cilindri è accessori. - Ùn scaricate micca in l'ambiente. · Risposta incidente -- Se inalate, alluntanate rapidamente da a scena à l'aria fresca. Mantene a vostra via aerea libera. Se a respirazione hè difficiule, quì Amministrà l'ossigenu. Sì a respirazione è u cori si fermanu, principià immediatamente a CPR. Cercà l'assistenza medica. -- Raccoglie e fughe. In casu d'incendiu, tagliate a fonte d'aria, u persunale di u focu porta maschere di gas, è stà sopra u ventu à una distanza sicura per estingue u focu. · Conservazione sicura: - Immagazzinatu in un magazzinu di gas tossicu frescu è ventilatu. -- A temperatura di u magazzinu ùn deve micca più di 30 ℃. - Si deve esse guardatu separatamente da sustanzi facili (infiammabili), agenti riducenti, sustanzi chimichi comestibili, etc., è ùn deve esse mischju. -- L'area di almacenamento deve esse equipata di equipaggiu di trattamentu d'emergenza per fughe. · Eliminazione di i rifiuti: - Eliminazione in cunfurmità cù i requisiti di e lege è regulamenti naziunali è lucali pertinenti. O cuntattate u fabricatore per determinà u partitu di eliminazione Dharma. Periculi fisichi è chimichi: tossicu, ossidante, pò causà o aggravà a combustione, dannosa per l'ambiente. Sughjettu à impattu, attritu, in casu di focu apertu o altra fonte d'ignizione hè estremamente splusivi. Hè faciule d'ignite quandu in cuntattu cù i combustibili. Periculi per a salute:Hè irritante per i tratti respiratorii. Puderia affettà u fegatu è i rini. L'esposizione per inalazione ripetuta o longu pò causà fluorosi. Periculi ambientali:Dannusu à l'ambiente.
Applicazioni
Semiconductor
Solar Photovoltaic
LED
Fabricazione di Macchine
Industria chimica
Trattamentu Medicu
Alimentazione
Ricerca scientifica
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