Els silans es preparen mitjançant la reducció del tetraclorur de silici amb hidrurs metàl·lics com el liti o l'hidrur d'alumini de calci. El silà es prepara tractant el siliciur de magnesi amb àcid clorhídric. de pel·lícula de polisilici, pel·lícula de monòxid de silici i pel·lícula de nitrur de silici. Aquestes pel·lícules tenen un paper clau en dispositius semiconductors, com ara capes d'aïllament, capes de contacte òhmic, etc.

A la indústria fotovoltaica, el gas silà de grau electrònic s'utilitza per produir pel·lícules antireflex per a cèl·lules fotovoltaiques per millorar l'eficiència d'absorció de la llum i les propietats elèctriques. En la producció de panells de visualització, el gas silà de grau electrònic s'utilitza per fer pel·lícules de nitrur de silici i capes de polisilici, que actuen com a capes protectores i funcionals per millorar l'efecte de visualització. El gas silà de grau electrònic també s'utilitza en la fabricació de noves bateries d'energia, com a font de silici d'alta puresa, directament per a la preparació de materials de bateries. A més, el gas silà de grau electrònic també s'utilitza en vidre revestit de baixa radiació, il·luminació de làmpades LED de semiconductors i altres indústries, amb una àmplia gamma d'escenaris d'aplicació.