(1) Mètode de siliciur de magnesi: reacciona la pols barrejada de silici i magnesi en hidrogen a uns 500 °C i reacciona el siliciur de magnesi generat amb clorur d'amoni en amoníac líquid a baixa temperatura per obtenir silà. La purificació d'aquest en un aparell de destil·lació refredat amb nitrogen líquid produeix silà pur.
(2) Mètode de reacció heterogènia: reacciona pols de silici, tetraclorur de silici i hidrogen en un forn de llit fluiditzat escalfat per sobre de 500 °C per obtenir triclorosilà. El triclorosilà es separa per destil·lació. El diclorosilà s'obté per reacció heterogènia en presència d'un catalitzador. El diclorosilà obtingut és una barreja amb tetraclorur de silici i triclorosilà, de manera que es pot obtenir diclorosilà pur després de la destil·lació. El triclorosilà i el monosilà s'obtenen a partir del diclorosilà mitjançant un catalitzador de reacció heterogeni. El monosilà obtingut es purifica mitjançant un dispositiu de destil·lació d'alta pressió a baixa temperatura.
(3) Tracteu l'aliatge de silici i magnesi amb àcid clorhídric.
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) L'aliatge de silici i magnesi reacciona amb el bromur d'amoni en amoníac líquid.
(5) Utilitzant hidrur d'alumini de liti, borohidrur de liti, etc. com a agents reductors, redueix el tetraclorosilà o el triclorosilà en èter.