Industrija panela

Sa razvojem tehnologije ravnog displeja, kupcima je potrebno više specijalnih gasova i povezanog stručnog znanja i iskustva. Huazhong Gas pruža kupcima s ravnim ekranom širok izbor specijalnih plinskih materijala, uključujući doping, nanošenje filma, jetkanje i procese čišćenja komora.

Preporučeni proizvodi za vašu industriju

Silane

Elektronski silan gas se uglavnom koristi u proizvodnji TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Displej s tekućim kristalima) u industriji displeja, i taloženju TFT ili LTPS supstrata za LCD.

Amonijak

U kombinaciji sa silanom, formira sloj silicijum nitrida a-Si tranzistora.

Gasmixture

Proizvodnja LTPS i MOS tranzistora povećala je upotrebu dušikovog oksida. Iz perspektive potrošnje i upotrebe u proizvodnji MO, N2O je nadmašio NF3 i postao najkorišteniji elektronski materijal u proizvodnji MO.

azot trifluorid

NF3 je najčešće korišteni elektronski materijal u proizvodnji a-Si i LTPS displeja i uglavnom se koristi za čišćenje PECVD komora.