يخضع غاز فلوريد التنغستن لتكنولوجيا التنقية، بما في ذلك تقنية الفصل التصحيحي، لإزالة المواد المنخفضة الغليان، ثم إزالة المواد عالية الغليان، ومن ثم الدخول إلى برج الامتزاز المجهز بالمواد الماصة، والحصول على غاز سداسي فلوريد التنغستن عالي النقاء بعد الامتزاز.