يعد الفوسفين مصدرًا مهمًا للمنشطات من النوع n في صناعة أجهزة أشباه الموصلات. يتم استخدامه أيضًا في ترسيب البخار الكيميائي للبولي سيليكون، ومواد GaP الفوقي، وعملية زرع الأيونات، وعملية MOCVD، وإعداد فيلم تخميل زجاج الفسفوسيليكات (PSG).