الصيغة الكيميائية لثلاثي فلوريد النيتروجين هي NF₃. وهو غاز عديم اللون والرائحة ومستقر في درجة حرارة الغرفة. وهو عامل مؤكسد قوي. يتميز ثلاثي فلوريد النيتروجين عالي النقاء بمعدل حفر وانتقائية ممتازين وهو أيضًا عامل تنظيف جيد جدًا. يمكن لشركة Huazhong أن تزودك بغاز ثلاثي فلوريد النيتروجين عالي النقاء لتحسين عملية أشباه الموصلات لديك.