የፓነል ኢንዱስትሪ

በጠፍጣፋ ፓነል ማሳያ ቴክኖሎጂ ልማት ደንበኞች የበለጠ ልዩ ጋዞች እና ተዛማጅ ሙያዊ እውቀት እና ልምድ ይፈልጋሉ። Huazhong ጋዝ ለጥ ፓነል ማሳያ ደንበኞች ልዩ ልዩ ጋዝ ቁሳቁሶች ጋር ያቀርባል, doping, ፊልም ማስቀመጥ, etching እና ክፍል የጽዳት ሂደቶች መተግበሪያዎች ጨምሮ.

ለእርስዎ ኢንዱስትሪ የሚመከሩ ምርቶች

ሲላን

የኤሌክትሮኒካዊ ደረጃ ሳይላን ጋዝ በዋነኝነት የሚያገለግለው በTFT (ቀጭን ፊልም ትራንዚስተር)/ኤልሲዲ (ፈሳሽ ክሪስታል ማሳያ) በማሳያ ፓነል ኢንዱስትሪ ውስጥ፣ እና TFT ወይም LTPS substrates ለ LCDs በማምረት ነው።

አሞኒያ

ከ silane ጋር ተጣምሮ የ a-Si ትራንዚስተሮች የሲሊኮን ናይትራይድ ንብርብር ይፈጥራል።

የጋዝ ቅልቅል

የ LTPS እና MOS ትራንዚስተሮች ማምረት የናይትረስ ኦክሳይድ አጠቃቀምን ጨምሯል። በ MO ምርት ውስጥ ካለው ፍጆታ እና አጠቃቀም አንፃር N2O በ MO ምርት ውስጥ በጣም ጥቅም ላይ የዋለው የኤሌክትሮኒክስ ቁሳቁስ ለመሆን ከ NF3 አልፏል።

ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ

NF3 በ a-Si እና LTPS የማሳያ ምርት ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውለው የኤሌክትሮኒክስ ቁሳቁስ ሲሆን በዋናነት የPECVD ክፍሎችን ለማጽዳት ያገለግላል።